清大研發顯微鏡 星、陸來挖角

 2012/10/27 【聯合報╱記者李青霖／新竹市報導】清大工科系教授陳福榮與團隊研發的桌上型掃描式電子顯微鏡，效能與國際大廠相當，已有國內廠商願技轉，具競爭力。 記者李青霖／攝影 清華大學工科系教授陳福榮與團隊開發成功國內第一台「桌上型掃描式電子顯微鏡」，性能與歐、日大廠相當，放大倍率一萬倍，分辨率達20~30奈米，適用於生醫、半導體、材料等領域的研究，已有科技廠商打算技轉，預計明年試量產。 陳福榮說，電子顯微鏡附加價值高，極具競爭力；近幾年積極呼籲台灣發展基礎工業的總統府資政李家同知道後相當興奮，還寫信給馬英九總統。陳福榮也是國家同步輻射研究中心合聘教授，四年前接受國科會國家型奈米計畫補助，帶領七名年輕研究人員，在同步輻射中心小小的辦公室投入這項研究，「我們很驕傲！」陳福榮說，電子顯微鏡是基礎量測儀器，廣泛應用在生物醫學、材料分析、半導體等工業，經由電子顯微鏡技術，可以衍生出科學分析、醫療與半導體製程相關儀器。國際生產電子顯微鏡廠商，以德、日、荷與捷克為大宗，韓國2007年全力發展，「倒一家政府再支持一家」他說，大陸也積極發展自製能力。「這是百分百台灣自製的儀器」，陳福榮說，研發過程遭遇許多困難，例如釩鋼磁性材料，技術掌握日本手中，他與本土廠商合作終於找到配方；又如顯微鏡需要的電子偵測器，一顆要價廿萬元，「我們找廠商合作，不到一千元就做得出來」。陳福榮比較包括東芝、荷蘭FEI、美國安捷倫的同型產品，台灣自製品不輸給他們。當知道台灣有能力自製桌上型電子顯微鏡時，新加坡與中國大陸都積極挖角，大陸邀約者柔性喊話說：「一起來發展民族產業吧」!